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文件大小：8MB 标注页数：245页 文件页数：249页
MD5：425239acd44da2e2ccc8515170e07782
ISBN：
出版社：北京：国防工业出版社
作者：（英）G.加特，W.A.格兰特
出版时间：1982
半导体离子注入 离子注入 离子注入技术 集成电路中的现代半导体器件 离子注入机 北京市辐射中心 北京师范大学低能核物理研究所离子注入研究室编著
