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第1章 引言 1

1.1 MEMS集成传感器 1

1.2 MEMS传感器接口电路集成技术特点及发展现状 2

1.2.1主要技术特点 2

1.2.2国内外发展趋势 7

参考文献 9

第2章 微加速度计接口ASIC集成技术 11

2.1电容式加速度计接口电路 12

2.1.1电容式微加速度计的工作原理 12

2.1.2电容式加速度计接口电路 17

2.1.3哈尔滨工业大学设计的闭环电容式加速度计接口电路 43

2.2集成压阻式加速度计接口电路 44

2.2.1压阻式加速度计的工作原理 46

2.2.2压阻式加速度计接口ASIC 49

2.3集成压电式加速度计接口电路 54

2.3.1压电式加速度计工作原理 54

2.3.2压电式加速度计接口电路 58

2.4集成谐振式加速度计接口电路 62

2.4.1谐振式加速度计工作原理 62

2.4.2谐振式加速度计接口电路 69

2.5集成热对流式加速度计接口电路 74

2.5.1热对流加速度计的工作原理 74

2.5.2热对流加速度计接口电路 77

2.6集成多轴加速度计接口电路 82

参考文献 86

第3章 微机械陀螺接口ASIC集成技术 89

3.1硅微机械陀螺 89

3.1.1微机械陀螺等效电学模型 89

3.1.2接口电路原理 94

3.1.3 PCB混合集成电路 94

3.1.4 ASIC集成技术 97

3.2石英微机械陀螺接口ASIC 134

3.2.1石英微机械陀螺基本原理 134

3.2.2石英微机械陀螺接口电路 141

3.3典型集成微陀螺产品及应用 143

3.3.1 ADXRS300 147

3.3.2 ADXRS614 147

参考文献 149

第4章 磁传感器接口ASIC集成技术 152

4.1各向异性磁阻传感器 152

4.1.1各向异性磁阻传感器原理 152

4.1.2各向异性磁阻接口ASIC电路 154

4.2巨磁阻传感器 154

4.2.1巨磁阻传感器原理 155

4.2.2巨磁阻传感器接口ASIC 155

4.3巨磁阻抗传感器 156

4.3.1巨磁阻抗传感器原理 156

4.3.2巨磁阻抗传感器接口ASIC 157

4.4磁通门传感器 160

4.4.1磁通门传感器原理 160

4.4.2等效电学模型 163

4.4.3磁通门传感器接口ASIC 165

参考文献 170

第5章MEMS压力传感器等接口ASIC集成技术 171

5.1集成压力传感器 171

5.1.1集成压力传感器分类 171

5.1.2集成压力传感器结构及工作原理 172

5.1.3压力传感器接口电路 180

5.1.4典型集成压力传感器产品及应用 200

5.1.5国外各大公司集成压力传感器部分产品一览 205

5.2微（型）麦克风 206

5.2.1常见麦克风的种类 206

5.2.2 MEMS微麦克风 207

5.2.3电容式麦克风的工作原理 207

5.2.4微麦克风接口电路 209

5.2.5典型产品及应用 217

5.3 MEMS红外传感器及接口电路 219

5.3.1 MEMS红外传感器工作原理 220

5.3.2接口电路及单片集成 221

参考文献 222