微机电系统原理pdf电子书版本下载

点此进入-本书在线PDF格式电子书下载【推荐-云解压-方便快捷】直接下载PDF格式图书。移动端-PC端通用
种子下载[BT下载速度快] 温馨提示：（请使用BT下载软件FDM进行下载）软件下载地址页 直链下载[便捷但速度慢]   [在线试读本书]   [在线获取解压码]

微机电系统原理PDF格式电子书版下载

下载的文件为RAR压缩包。需要使用解压软件进行解压得到PDF格式图书。

建议使用BT下载工具Free Download Manager进行下载,简称FDM(免费,没有广告,支持多平台）。本站资源全部打包为BT种子。所以需要使用专业的BT下载软件进行下载。如 BitComet qBittorrent uTorrent等BT下载工具。迅雷目前由于本站不是热门资源。不推荐使用！后期资源热门了。安装了迅雷也可以迅雷进行下载！

（文件页数 要大于 标注页数，上中下等多册电子书除外）

注意：本站所有压缩包均有解压码： 点击下载压缩包解压工具

第1章 引言 1

1.1 微机电系统 1

1.2 耦合系统 1

1.3 所需知识 5

1.4 量纲分析 6

习题 26

第2章 微制造 28

2.1 体微加工和表面微加工 28

2.2 光刻 31

2.3 层沉积工艺 37

2.4 刻蚀法 50

2.5 制造工艺设计 54

习题 57

第3章 静力学 59

3.1 静力平衡 59

3.2 压—张关系 64

3.3 热应力 77

3.4 扭转力矩作用下梁的性能 84

3.5 力矩—曲率之间的关系 87

3.6 梁方程 93

3.7 加勒金法 105

3.8 能量法 114

3.9 梁问题的能量方法 124

习题 127

第4章 微结构的静力性能 129

4.1 微结构的元件 129

4.2 通用梁的刚度 132

4.3 杆系 155

4.4 刚度变换 160

4.5 平面结构的静力性能 172

4.6 残余应力 179

4.7 结构的立方力 192

4.8 势能 199

4.9 势能间的相似性 205

习题 211

第5章 动力学 214

5.1 三次方程 214

5.2 运动的描述 220

5.3 动态支配方程 224

5.4 势能和动能之间的能量转换 228

5.5 无阻尼自由振动系统 233

5.6 阻尼系统的振动 236

5.7 多自由度系统 246

5.8 连续系统 254

5.9 有效质量、阻尼和刚度 261

5.10 具有重复结构的系统 274

5.11 达芬方程 282

习题 292

第6章 流体动力学 295

6.1 黏性流 295

6.2 连续方程 296

6.3 纳维—斯托克斯方程 297

6.4 雷诺方程 300

6.5 库埃特流动 304

6.6 流体中的振动板 305

6.7 蠕动流 313

6.8 挤压膜 319

习题 327

第7章 电磁学 329

7.1 电路的基本元件 329

7.2 基尔霍夫电流定律 333

7.3 静电学 341

7.4 由电场产生的力和力矩 348

7.5 作用于各种物体的静电力和力矩 357

7.6 电磁力 370

7.7 作用在电场和磁场中运动电荷上的力 378

7.8 压阻 382

7.9 压电性 389

习题 391

第8章 压电和热力驱动器 393

8.1 组合梁 393

8.2 压电驱动器 412

8.3 热力驱动器 420

习题 449

第9章 静电驱动器和电磁驱动器 451

9.1 电磁驱动器 451

9.2 梳驱动的驱动器 453

9.3 平行板驱动器 463

9.4 扭转驱动器 483

9.5 两端固定梁驱动器 499

9.6 悬梁驱动器 511

9.7 间隙接近驱动器的动态响应 519

9.8 间隙接近驱动器的近似 526

9.9 电磁驱动器 534

习题 540

第10章 传感器 543

10.1 力和压力传感器 543

10.2 加速度计 557

10.3 静电加速度计 567

10.4 振动陀螺仪 578

10.5 其他结构 585

习题 586

附录 588

参考文献 593