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第1章 绪论 1

1.1 研究现状及进展 1

1.2 无源器件的集成 1

1.3 主要研究工作 4

第2章 电学特性表征技术 6

2.1 简介 6

2.2 常用的介电材料特性表征技术 6

2.2.1 电容器测试法 6

2.2.2 传输线测试法 9

2.3 结论 16

第3章 掩膜设计和样品制作 18

3.1 传输线结构 18

3.1.1 阻抗标准基质的测量与分析 19

3.1.2 实验结果 24

3.2 动量仿真过程 24

3.2.1 电磁仿真 25

3.2.2 优化结构的电磁设计 25

3.2.3 对复杂结构的模拟 29

3.3 其他测试结构 32

3.3.1 圆形电容器结构 32

3.3.2 正方形电容器结构 32

3.3.3 辅助结构 33

3.4 样品的制备 34

3.4.1 参考样品 37

3.4.2 其他合作研究院的PMNT样品 37

3.4.3 Tyndall研究院的PMNT样品 39

3.5 总结 43

第4章 传输线技术 44

4.1 引言 44

4.2 灵敏度分析和EM仿真微调 44

4.2.1 测量结果和初始值的仿真 47

4.2.2 灵敏度分析 48

4.3 建模和特性描述 54

4.3.1 特性表征过程和验证 54

4.3.2 PMNT特性表征 56

4.4 去嵌入测量技术 58

4.4.1 S参数的测量 58

4.4.2 去嵌入方法 60

4.4.3 结果与讨论 61

4.5 结论 66

第5章 基于圆形电容器结构的表征 67

5.1 简介 67

5.2 C-V提取技术 68

5.2.1 计算方法 68

5.2.2 测量环境对测量结果的影响因素 70

5.3 S参数提取技术 79

5.4 总结 84

第6章 基于方形电容器结构的表征 86

6.1 简介 86

6.2 电容-电压测量技术 86

6.2.1 小间距焊盘的测量 87

6.2.2 典型距离焊盘的测量 94

6.3 PMNT的系统研究 99

6.3.1 电容-电压的测量 99

6.3.2 电流-电压的测量 100

6.3.3 电容-频率的测量 103

6.3.4 损耗因子-频率的测量 105

6.3.5 复阻抗-频率的测量 106

6.3.6 用于高性能MIM电容器的PMNT的适用性 107

6.4 温度特性 111

6.5 铁电特性 115

6.6 结论 119

第7章 总结 121

7.1 研究综述 121

7.2 研究的新颖性 122

7.3 对未来工作的建议 122

参考文献 124