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第1章 绪论 1

1.1引言 1

1.2 MEMS的设计 10

1.3 MEMS制造 12

1.4微机电系统与微加工制造技术 14

1.5 MEMS中的微光学MOEMS 22

1.6微惯性器件及微惯性技术的发展 27

1.7微惯性系统的应用 37

第2章 微惯性系统基本工作原理 53

2.1微惯性器件的动力学基础 53

2.2微惯性航姿系统的工作原理 61

2.3姿态角的定义和更新 62

2.4捷联惯性导航系统的工作原理 67

2.5 GPS定位原理 70

第3章 微惯性器件的功能材料及加工制造技术 72

3.1硅材料的物理性能 72

3.2微机电系统加工技术基础 78

第4章 微惯性器件 100

4.1微传感器的的敏感机理 100

4.2压力传感器 117

4.3加速度传感器 131

4.4陀螺 155

4.5与MOEMS有关的传感器 186

第5章 微惯性器件的测试、标定与误差分析 196

5.1惯性器件测试基本概念 196

5.2微机械加速度计的测试与标定 207

5.3微机械陀螺仪的测试与标定 211

5.4微机械陀螺仪随机误差建模与分析补偿 217

5.5微机械陀螺随机误差的时间序列分析建模 218

5.6 MEMS陀螺小波去噪 233

5.7 MEMS陀螺随机误差的Allan方差分析方法 240

5.8微惯性器件的温度性能分析 246

5.9硅微惯性器件的测试实例 249

第6章 微惯性测量稳定系统 253

6.1微惯性测量系统 253

6.2微惯性稳定系统 263

第7章 基于微惯性系统的组合导航技术 275

7.1微惯性组合导航系统的基本原理 275

7.2微惯性组合导航系统的实现形式 277

7.3卡尔曼滤波在微惯性组合导航系统中的应用 279

7.4粒子滤波在微惯性组合导航系统中的应用 286

7.5 EKF/UKF在微惯性/GPS组合导航系统中的应用 292

7.6 EPF/UPF在微惯性/GPS组合导航系统中的应用 300

参考文献 304