图书介绍
光刻掩膜版的制造pdf电子书版本下载
- 武汉无线电元件三厂编 著
- 出版社： 武汉无线电元件三厂
- ISBN：
- 出版时间：1972
- 标注页数：66页
- 文件大小：10MB
- 文件页数：72页
- 主题词：
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图书目录
一、制作超微粒干版工艺 1
二、光刻掩膜图形的绘制 6
三、刻图 9
四、初缩照相工艺 10
五、显影、停影、定影及水洗 18
六、精缩照相 20
七、真空蒸发铬版 38
八、铬版复印 45
九、44—KR型光刻掩膜版的制造 51