等离子体加工技术pdf电子书版本下载

点此进入-本书在线PDF格式电子书下载【推荐-云解压-方便快捷】直接下载PDF格式图书。移动端-PC端通用
种子下载[BT下载速度快] 温馨提示：（请使用BT下载软件FDM进行下载）软件下载地址页 直链下载[便捷但速度慢]   [在线试读本书]   [在线获取解压码]

等离子体加工技术PDF格式电子书版下载

下载的文件为RAR压缩包。需要使用解压软件进行解压得到PDF格式图书。

建议使用BT下载工具Free Download Manager进行下载,简称FDM(免费,没有广告,支持多平台）。本站资源全部打包为BT种子。所以需要使用专业的BT下载软件进行下载。如 BitComet qBittorrent uTorrent等BT下载工具。迅雷目前由于本站不是热门资源。不推荐使用！后期资源热门了。安装了迅雷也可以迅雷进行下载！

（文件页数 要大于 标注页数，上中下等多册电子书除外）

注意：本站所有压缩包均有解压码： 点击下载压缩包解压工具

第一章 等离子体的基本性质 1

1.1 概述 1

1.2 等离子体的定义 1

1.3 等离子体的温度 2

1.4 等离子体浓度及其电离度 4

1.5 等离子体的德拜屏蔽 4

1.6 等离子体的静电振荡 10

1.7 等离子体中的双极扩散 12

参考文献 14

第二章 等离子体的形成 15

2.1 概述 15

2.2 直流辉光放电 15

2.3 射频（RF）放电 23

2.4 微波放电 41

参考文献 62

第三章 低温等离子体的诊断 64

3.1 概述 64

3.2 静电探针测量方法及其应用 64

3.3 质谱技术在等离子体诊断中的应用 70

3.4 光谱技术在等离子体诊断中的应用 75

3.5 红外吸收光谱测量技术 79

3.6 激光诱导荧光光谱技术 81

参考文献 83

第四章 低温等离子体加工过程中的物理化学问题 84

4.1 概述 84

4.2 等离子体化学气相淀积中的物理化学问题 84

4.3 等离子体刻蚀的物理化学问题 88

4.4 离子束淀积和晶体生长中的物理化学问题 94

4.5 等离子体氧化过程的物理化学问题 97

4.6 等离子体聚合过程中的物理化学问题 99

参考文献 103

第五章 等离子体CVD设备及其应用 105

5.1 概述 105

5.2 射频等离子体CVD设备 105

5.3 微波等离子体CVD设备 109

5.4 等离子体CVD设备公共构件的配置要求 116

5.5 等离子体CVD淀积膜厚的监控 117

5.6 低温等离子体CVD设备的应用 120

5.7 低温等离子体CVD设备的技术指标 121

参考文献 122

第六章 低温等离子体PVD设备及其应用 124

6.1 概述 124

6.2 低温等离子体PVD设备的要求 124

6.3 直流二极溅射设备 125

6.4 等离子体磁控溅射PVD设备 126

6.5 射频等离子体溅射PVD设备 131

6.6 微波等离子体溅射PVD设备 132

参考文献 133

第七章 等离子体和离子束刻蚀设备及其应用 134

7.1 概述 134

7.2 刻蚀工艺的要求 134

7.3 射频等离子体刻蚀设备 139

7.4 微波等离子体刻蚀设备 140

7.5 射频放电反应离子刻蚀设备 141

7.6 射频磁控刻蚀设备 142

7.7 反应离子束刻蚀设备 143

7.8 影响刻蚀工艺的因素 145

7.9 等离子体和离子束刻蚀的实时监控方法 149

参考文献 149

第八章 微细加工中等离子体技术发展的展望 151

8.1 概述 151

8.2 微细加工中等离子体技术的进展 151

8.3 开发等离子体技术在微细加工中新的应用领域 154

8.4 等离子体加工技术的基础研究 158

参考文献 159