薄膜物理pdf电子书版本下载

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第一章 薄膜的形成 1

1-1 单体的吸附 1

1-2 小原子团的形成 6

1-3 成核理论 8

1-4 凝结系数 15

1-5 薄膜的形成 18

1-6 薄膜的结构 20

1-7 薄膜中的缺陷 22

第二章 薄膜的力学性质 25

2-1 薄膜的附着性能 25

2-2 附着力的测试方法 30

2-3 薄膜的内应力 34

2-4 内应力的测试方法 46

2-5 薄膜的机械强度 51

2-6 机械强度的试验方法 53

第三章 金属薄膜的电导 56

3-1 岛状薄膜的电导 56

3-2 外因对岛状薄膜电导的影响 69

3-3 网状薄膜的电导 74

3-4 连续薄膜的电导 77

3-5 外因对连续薄膜电导的影响 87

第四章 薄膜的表面和界面 92

4-1 表面双电层和表面势 92

4-2 表面电场效应 97

4-3 电接触 103

第五章 介质薄膜的电学性能 123

5-1 介质薄膜的电导 124

5-2 负阻现象和记忆效应 138

5-3 介质薄膜的介电常数 143

5-4 介质薄膜的损耗 148

5-5 介质薄膜的击穿 157

5-6 氧化物介电性能与固态特性的关系 159

第六章 压电薄膜的电学性能 161

6-1 晶体的性质 163

6-2 压电薄膜 176

6-3 氧化锌微晶薄膜 185

6-4 氮化铝微晶薄膜 191

参考文献 195