微电子机械系统pdf电子书版本下载

点此进入-本书在线PDF格式电子书下载【推荐-云解压-方便快捷】直接下载PDF格式图书。移动端-PC端通用
种子下载[BT下载速度快] 温馨提示：（请使用BT下载软件FDM进行下载）软件下载地址页 直链下载[便捷但速度慢]   [在线试读本书]   [在线获取解压码]

微电子机械系统PDF格式电子书版下载

下载的文件为RAR压缩包。需要使用解压软件进行解压得到PDF格式图书。

建议使用BT下载工具Free Download Manager进行下载,简称FDM(免费,没有广告,支持多平台）。本站资源全部打包为BT种子。所以需要使用专业的BT下载软件进行下载。如 BitComet qBittorrent uTorrent等BT下载工具。迅雷目前由于本站不是热门资源。不推荐使用！后期资源热门了。安装了迅雷也可以迅雷进行下载！

（文件页数 要大于 标注页数，上中下等多册电子书除外）

注意：本站所有压缩包均有解压码： 点击下载压缩包解压工具

目录 1

第1章 MEMS系统简介 1

1.1 MEMS技术现状及前景 1

1.1.1 MEMS的基本概念与发展历史 1

1.1.2 MEMS的应用 5

1.1.3 MEMS技术和器件的研究进展 7

1.2 MEMS器件及系统的研究进展 9

1.3 MEMS技术的应用前景 12

第2章 微机电系统（MEMS）相关力学知识及测量力学量的方法 14

2.1 弹性力学基础知识 14

2.2.1 简介 19

2.2 微结构机械参数测量方法 19

2.2.2 在线监测薄膜机械参数的方法列举 20

2.2.3 微机械材料特性检测 22

参考文献 40

第3章 微机电系统（MEMS）主要工艺 43

3.1 体硅加工工艺 43

3.1.1 腐蚀工艺 44

3.1.2 湿法腐蚀 45

3.1.3 干法腐蚀 49

3.2 硅片键合工艺 51

3.2.1 简介 51

3.2.2 硅熔融键合（SFB） 52

3.2.3 阳极键合 58

5.5.4 磁致伸缩微执行器 1 61

3.2.4 低温键合 64

3.2.5 键合工艺应用举例 65

3.3 LIGA技术 70

3.3.1 LIGA技术基本原理 70

3.3.2 活动结构制作原理 71

3.3.3 复杂的三维结构的制作原理 72

3.3.4 技术要求 73

3.3.5 LIGA技术研究现状 74

3.3.6 准LIGA技术 75

3.3.7 LIGA技术在工程中的应用 77

参考文献 80

第4章 传感器部分 82

4.1 传感器的分类、构成与发展动向 82

4.1.1 基本概念 82

4.1.2 传感器的分类 82

4.1.3 传感器的构成 83

4.2 传感器材料 84

4.2.1 传感器敏感材料 84

4.2.2 仿生材料 86

4.3.1 加速度微传感器 88

4.3 硅电容式微传感器 88

4.3.2 压力微传感器 91

4.4 静电激振法 92

4.4.1 工作原理 92

4.4.2 谐振式传感器 93

4.4.3 热激励谐振式传感器 94

4.4.4 光激谐振式传感器 95

4.4.5 静电激励谐振式传感器 97

4.5 声表面波传感器 99

4.5.1 SAW传感器 100

4.5.2 声表面波器件内连技术 101

4.5.3 典型SAW传感器 104

4.6 薄膜传感器 107

4.6.1 薄膜 107

4.6.2 膜片 108

4.6.4 导热测试 109

4.6.3 “扯带”试验 109

4.6.5 金属薄膜电阻 113

4.6.6 薄膜磁阻元件 114

4.6.7 铁电薄膜元件 116

4.7 隧道传感器 118

4.7.1 隧道加速度计 119

4.7.2 微机械电子隧道红外探测器 120

4.7.3 微机械电子隧道磁强计 121

4.7.4 隧道传感器的发展方向 122

4.8 生物传感器 122

4.8.1 生物化学传感器 123

4.8.2 生物芯片 128

5.1 用于通信领域的MEMS器件 130

5.1.1 RF MEMS的概念 130

第5章 MEMS器件的应用 130

5.1.2 用于通信领域中的MEMS器件简介 131

5.2 用于生化医学领域的MEMS器件 135

5.2.1 医疗领域MEMS的发展趋势 135

5.2.2 生化领域MEMS的发展趋势 137

5.2.3 MEMS气敏传感器 137

5.2.4 生物微机电系统 139

5.3 用于光通信领域的MEMS器件 143

5.3.1 MEMS器件在光通信领域中的应用概述 143

5.3.2 光开关的工作原理 144

5.3.3 MEMS光开关分类 147

5.4 用于惯性测量用的MEMS器件 149

5.4.1 加速度计 149

5.4.2 陀螺仪 155

5.5 几种MEMS微执行器 156

5.5.1 MEMS微执行器简介 156

5.5.2 静电式微执行器 157

5.5.3 压电微执行器 159

5.5.5 电磁微执行器 162

5.5.6 形状记忆合金（SMA）微执行器 163

5.5.7 热执行器 164

5.5.8 电子流变式微执行器 165

参考文献 166

6.1 概述 167

第6章 MEMS器件的仿真和计算机辅助设计 167

6.1.1 器件级仿真 168

6.1.2 加工及装配过程仿真 169

6.1.3 系统级仿真 170

6.1.4 相关技术展望 171

6.2 硅各向异性腐蚀工艺模拟 172

6.2.1 简介 172

6.2.2 硅各向异性腐蚀模型 173

6.2.3 硅各向异性腐蚀模拟软件 175

6.2.4 硅在KOH中各向异性腐蚀的物理模型 176

6.2.5 各向异性腐蚀表面粗糙度的“应力模型” 181

6.2.6 各向异性腐蚀模拟算法 186

6.2.7 各向异性腐蚀工艺模拟软件结构 191

参考文献 194