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第1章 致动器和微机械电子学的当前趋势 1

1.1对新型致动器的需求 1

1.2微定位的传统方法 3

1.3固态致动器概述 5

1.4重要设计概念和本书结构 24

第2章 场致张力的理论描述 29

2.1铁电性 29

2.2电场感应应变的微观描述 36

2.3压电性的张量／矩阵描述 38

2.4铁电和反铁电现象的理论描述 47

2.5磁致伸缩现象学 60

2.6铁电畴的再取向 61

2.7铁电体中的晶粒大小和电场感应应变 76

第3章 致动器材料 76

3.1实用致动器材料 76

3.2压电换能器的品质因数 95

3.3电致伸缩应变与温度的关系 101

3.4响应速度 104

3.5致动器的机械特性 105

第4章 陶瓷致动器的结构及制造方法 123

4.1陶瓷和单晶体的制造 123

4.2装置设计 128

4.3电极材料 153

4.4市场上现有的压电致动器和电致伸缩致动器 156

第5章 压电致动器的驱动／控制技术 162

5.1压电致动器的分类 162

5.2反馈控制 163

5.3脉冲驱动 177

5.4谐振驱动 187

5.5微机电系统的传感器和特殊元器件 194

第6章 损耗机理与发热 210

6.1压电体的迟滞和损耗 210

6.2压电体中的发热 228

6.3硬性和软性压电材料 234

第7章 压电结构有限元法简介 241

7.1背景知识 241

7.2定义问题的方程 242

7.3有限元法的应用 244

第8章 伺服位移传感器的应用 253

8.1变形镜 253

8.2显微镜载物台 258

8.3高精度线性位移装置 259

8.4伺服系统 263

8.5VCR（录像机）磁头跟踪致动器 268

8.6振动抑制和噪声消除系统 269

第9章 脉冲驱动电机应用 273

9.1成像系统的应用 273

9.2尺蠖装置 276

9.3点阵打印机机头 280

9.4喷墨打印机 286

9.5压电继电器 289

9.6自适应悬挂系统 292

第10章 超声波电机的应用 295

10.1超声波电机的概述及分类 295

10.2驻波电机 300

10.3混合模态电机 304

10.4行波电机 307

10.5模态旋转电机 317

10.6不同超声波电机的性能比较 319

10.7微型步行机械 320

10.8超声波电机速度和推力的计算 322

10.9设计超声波电机的要点 325

10.10超声波电机的其他应用 331

10.11磁电机 334

10.12超声波电机的可靠性 334

第11章 微机械电子系统中陶瓷致动器的展望 341

11.1从专利统计看发展趋势 341

11.2压电致动器／超声波电机市场 342

11.3致动器设计的未来趋势 345

索引 356