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第1章 概述 1

1.1 扫描电镜简介 1

1.1.1 扫描电镜特点 2

1.1.2 扫描电镜的发展简史 2

1.2 扫描电镜的原理 3

1.3 扫描电镜的分辨率 5

1.3.1 分辨率简介 5

1.3.2 影响分辨率的因素 9

1.3.3 分辨率测量 25

1.4 扫描电镜图像衬度 29

1.4.1 二次电子像 30

1.4.2 材料衬度 33

1.4.3 背散射电子像 35

1.4.4 电位衬度 37

1.4.5 通道效应衬度 40

1.4.6 STEM分析 50

第2章 扫描电镜的荷电及解决方案 60

2.1 荷电现象 60

2.2 荷电机理 61

2.3 荷电的解决方案 62

2.3.1 镀膜 62

2.3.2 采用低加速电压进行观察 73

2.3.3 采用下探测器进行观察 79

2.3.4 采用背散射电子像来进行观察 81

2.3.5 采用快速扫描方式采集图像 82

2.3.6 采用高加速电压击穿材料来减少荷电 84

第3章 低电压扫描电镜的技术突破及应用分析 89

3.1 低电压扫描电镜电子枪类型 90

3.2 低电压扫描电镜的重要突破 96

3.3 低电压扫描电镜的技术发展 101

3.3.1 减速模式 101

3.3.2 探测器 106

3.3.3 带像差校正的扫描电镜 108

3.3.4 带单色器的超高分辨率扫描电镜 109

3.4 低电压扫描电镜的应用 113

3.4.1 在热敏感材料中的应用 113

3.4.2 在石墨烯表征中的应用 116

3.4.3 在纳米TiO2制备与表征中的应用 120

3.4.4 在Ag/PVA纤维中的应用 123

3.4.5 在离子表面改性研究中的应用 126

3.5 低电压扫描电镜其他技术应用分析 128

3.5.1 加速电压的影响 128

3.5.2 低电压扫描电镜对介孔材料的表征 134

第4章 低电压能谱分析 138

4.1 能谱分析概述 138

4.2 低电压扫描电镜能谱微区分析特点 139

4.3 低电压能谱定性、定量分析 144

4.3.1 能谱面分布 149

4.3.2 纳米镍颗粒的能谱面分布 155

4.4 能谱面分布空间分辨率同加速电压的关系 159

4.5 能谱面分布中的假象 162

4.6 低电压能谱应用实例 170

4.6.1 YAG陶瓷烧结机理研究 170

4.6.2 介孔氧化硅 176

第5章 电子背散射衍射技术 185

5.1 概述 185

5.2 EBSD的主要特点 188

5.3 EBSD的工作原理 190

5.3.1 菊池带的产生原理 191

5.3.2 晶面 194

5.3.3 晶带轴 195

5.3.4 欧拉角 196

5.3.5 对称性 199

5.3.6 霍夫变换 201

5.3.7 相机常数 204

5.4 EBSD可以实现的功能 206

5.4.1 相鉴定 206

5.4.2 取向的测量 219

5.4.3 孪晶晶界分析 232

5.4.4 晶粒形状、尺寸和分布测定 234