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第一章 空腔阴极反射放电的高亮度电子束源物理 3

1.1 冷阴极低压反射放电 4

1.1.1 空腔阴极反射放电特性 4

1.1.2 阴极腔等离子体参数的轴向分布 5

1.1.3 放电时阴极间空间的等离子体参数 10

1.2 发射通道等离子体 14

1.3 电子逸出时等离子体的扰动 19

1.4 电子束源的发射特性 22

1.5 束流的初始形成 26

1.6 实际应用 29

参考文献 33

第二章 获取大面积束的等离子体阴极电子源 35

2.1 阴极斑电弧放电的激发 36

2.2 阳极区电弧放电过程和等离子体发射性能 40

2.3 电流密度分布的控制 44

2.4 等离子体阴极发射脉冲宽度的控制 49

2.5 产生大面积束的电子源 58

参考文献 70

第三章 工艺用途的冷阴极放电离子源 72

3.1 阴极斑电弧在工艺用途气体离子源中的利用 73

3.2 气体－金属离子束在收缩放电和真空电弧源中的产生 84

3.3 连续运行的大面积气体离子束源 91

3.4 空腔阴极开放放电的大孔径离子源 101

参考文献 111

第四章 等离子体发射电子学低压放电形成的理论问题 114

4.1 电极间隙中非单调电位分布时放电的形成 115

4.1.1 克奴得谢诺夫放电模型 116

4.1.2 准稳态放电的形成和电子从非单调电位分布区域逸出的机制 118

4.1.3 气压、放电电压和放电间隙尺寸对放电形成时间的影响 120

4.2 爆炸发射阴极低压放电的形成 123

4.2.1 束形成的近似解析计算 123

4.2.2 等离子体电极系统放电扩展的数值模型 126

4.2.3 在阴极非单调熔蚀情况下放电的扩展 129

4.3 空腔阴极放电 134

参考文献 142