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目录 1

第一章绪论 1

§1.1陀螺仪的发展与应用 1

§1.2静电陀螺仪简介 3

§1.3静电陀螺支承系统 3

§1.4静电支承的技术热点问题 10

第二章球面电极的出力计算及参数分析 12

§2.1球面电极的划分 12

§2.2静电吸力的计算 13

§2.3碗电极参数分析 19

第三章静电加力执行系统 39

§3.1静电悬浮载波机理 39

§3.2 20kHZ静电悬浮加力变压器 42

§3.3单管乙类功率放大器 43

第四章球转子与碗电极测量电路理论分析 49

§4.1 不同电极划分下球碗间隙电容桥三维敏感电路分析 49

§4.2微位移电容传感器机械量与电参量的相互关系 66

§4.3测量因子灵敏度分析 68

§4.4加力与测量效率的分析与公式推导 71

§4.5测量分辨率分析 74

§4.6测量零点稳定性分析 79

§4.7提高测量稳定性和排除高压干扰的措施 80

第五章转子位移测量电路实现 83

§5.1测量电路的设计 83

§5.2 0.01μm等效分辨率实现技术 93

§5.3转子位移电容分辨率标定装置 98

§6.1 ESS控制模式与控制环节的两大问题 109

第六章悬浮支承随动控制技术与控制模式 109

§6.2随动控制方案与控制模式 110

§6.3 VCR组件及小预载调制器实现 120

第七章具有并行与容错余度性能的支承方案探讨 129

§7.1 分频式半球支承——时间上并行的支承 129

§7.2分时式半球支承——时间均分的等效并行支承 136

§7.3八电极独立支承（4—3—4变换）——容错余度控制方案 143

§7.4控制方案探讨综合与优化电路研究 148

第八章静电悬浮综合技术研究及机—电相互关系 159

§8.1悬浮支承惯性传感器的综合技术问题 159

§8.2误差源分类与精度分析 163

§8.3真空分析与消气剂应用 166

§8.4恒速与转子质心偏移理论研究 172

§8.5超前补偿的悬浮支承控制及转子恒速技术 188

§8.6实心球技术研究 195

第九章测量与支承同—频率的恒流支承系统 198

§9.1原理 198

§9.2控制环路设计与增益分配 203

§9.3实验用电路的设计 206

§9.4单频恒流ESS开环实验研究 209

§9.5实验研究结果 210

第十章静电悬浮技术的发展与拓广 213

§10.1静电陀螺的发展进程与技术水平 213

§10.2我国静电悬浮控制技术尚需开展的工作 215

§10.3超导惯性传感器的磁悬浮支承初探 217

参考文献 222