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第一章 集成电路技术经济规律与制造动力学 1

一、集成电路发展的技术经济规律 2

二、器件按比例缩小与制造灵敏度 17

三、电路功能设计向优化设计过渡的必然性 27

四、集成电路制造动力学及其分类 44

第二章 集成电路制造成本模型 62

一、经典成本和利润模型 62

二、广义前道工序成本模型 71

三、广义后道工序成本模型 78

四、收入综合与最优化 85

一、集成电路的局域缺陷模型 93

第三章 功能成品率模型与模拟 93

二、缺陷统计分布特征 100

三、功能成品率模型 119

四、关键面积模型与算法 132

五、功能成品率模拟 139

第四章 功能成品率最优化理论与方法 149

一、功能成品率与版图设计规则最优化 149

二、冗余成品率模型与最优设计 158

三、二叉树最佳容错方法 172

四、动态缺陷增殖与电路加工最佳分配 181

一、参数成品率模型 188

第五章 参数成品率模型与模拟 188

二、Monte Carlo统计分析方法 197

三、参数统计分析与统计模型构造方法 210

四、集成电路制造工艺宏模型构造方法 226

五、电路容差与最不利条件分析 248

第六章 参数成品率最优化理论和方法 261

一、Monte Carlo参数游动类方法 261

二、RA几何逼近类方法 271

三、极大极小类统计最优化方法 284

四、空间分离策略与椭球算法 292

一、DCTT统计最优化基础 300

第七章 DCTT统计最优化 300

二、模型及其性质 313

三、最佳逼近方法 319

四、DCTT进一步策略 328

第八章 集成电路工艺统计控制 336

一、工艺可控性诊断和分析方法 336

二、数据获取与控制模型 349

三、最优统计控制与IC决策支持系统 362

发展与展望 369

参考文献 372