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目录 1

第一章 绪论 1

§1.1概述 1

§1.2表面及其特点 2

§1.3微分析的目的与分类 4

第二章 电子与固体的相互作用 6

§2.1原子能级和固体的能带 6

§2.2电子束强度的衰减规律 9

§2.3散射截面 10

§2.4入射电子在厚试样中的散射 15

§2.5原子受激后的弛豫过程 18

§2.6电子衍射 22

§2.7信息及其产生过程 23

§2.8电子束的其他效应 27

§2.9小结 28

思考与练习 29

参考资料 29

第三章 电子显微镜 30

§3.1电子光学基础 30

§3.2真空及真空系统 35

§3.3透射电镜（TEM） 37

§3.4扫描电镜（SEM） 43

§3.5电子探针X射线显微分析 47

思考与练习 50

参考资料 51

第四章 俄歇电子能谱（AES） 52

§4.1概述 52

§4.2能量分析器 53

§4.3探测器 60

§4.4锁相放大器 62

§4.5俄歇信息的检测 68

§4.6俄歇仪的主要性能指标 70

§4.7俄歇能谱的分析技术 70

§4.8应用 74

思考与练习 76

参考资料 77

第五章 以光子为探束的分析技术 78

§5.1概述 78

§5.2光电发射与光电截面 79

§5.3X射线光电子能谱仪（XPS） 82

§5.4X射线光电子能谱中的分析技术 89

§5.5X射线光电子能谱的应用 91

§5.6紫外光电子能谱（UPS） 96

§5.7红外吸收谱（IRAS） 97

思考与练习 106

参考资料 106

第六章 以离子为探束的分析技术 107

§6.1离子与固体表面相互作用的基本概念 107

§6.2溅射 110

§6.3次级离子发射 114

§6.4以离子为探束的分析技术及其特点 120

§6.5离子枪与质量分析器 121

§6.6低能离子散射谱（ISS） 129

§6.7高能离子散射谱（HEISS）（卢瑟福背散射谱） 135

§6.8次级离子质谱（SIMS） 139

思考与练习 146

参考资料 146

第七章 晶体结构与X射线衍射分析 147

§7.1晶体结构的基本知识 147

§7.2晶体对X射线的衍射 153

§7.3X射线衍射分析 159

思考与练习 165

参考资料 166

第八章 低能电子衍射（LEED） 167

§8.1二维结晶学的基本概念 167

§8.2低能电子衍射 172

§8.3低能电子衍射图 173

§8.4低能电子衍射谱 178

思考与练习 179

参考资料 180

第九章 磁共振波谱（MRS） 181

§9.1自旋与磁矩 181

§9.2磁共振原理 186

§9.3磁共振谱线特性 188

§9.4波谱仪及其应用 190

思考与练习 192

参考资料 192

附录Ⅰ 常用微分析技术性能 193

附录Ⅱ 常用微分析技术中英文名称及缩写 197