微机电系统机械学pdf电子书版本下载

点此进入-本书在线PDF格式电子书下载【推荐-云解压-方便快捷】直接下载PDF格式图书。移动端-PC端通用
种子下载[BT下载速度快] 温馨提示：（请使用BT下载软件FDM进行下载）软件下载地址页 直链下载[便捷但速度慢]   [在线试读本书]   [在线获取解压码]

微机电系统机械学PDF格式电子书版下载

下载的文件为RAR压缩包。需要使用解压软件进行解压得到PDF格式图书。

建议使用BT下载工具Free Download Manager进行下载,简称FDM(免费,没有广告,支持多平台）。本站资源全部打包为BT种子。所以需要使用专业的BT下载软件进行下载。如 BitComet qBittorrent uTorrent等BT下载工具。迅雷目前由于本站不是热门资源。不推荐使用！后期资源热门了。安装了迅雷也可以迅雷进行下载！

（文件页数 要大于 标注页数，上中下等多册电子书除外）

注意：本站所有压缩包均有解压码： 点击下载压缩包解压工具

0 引子 1

参考文献 4

1 微机电系统机械学问题概述 5

1.1 什么是微机电系统 5

1.2 为什么发展微机电系统 7

1.3 微尺度机械的微观效应简述 9

参考文献 13

2 微系统的表面与界面 14

2.1 固-液体的表面 14

2.1.1 表面的定义 14

2.1.2 固体表面 15

2.1.3 液体表面 16

2.2 固-液界面与固-液接触角 17

2.2.1 固-液界面 17

2.2.2 固-液接触角 18

2.2.3 接触线张力 20

2.3 粗糙表面的固-液接触角 20

2.3.1 Wenzel模型与Cassie模型 20

2.3.2 固体表面的微纳结构与亲疏水性质 23

2.3.3 粗糙表面的接触角滞后——花瓣效应与荷叶效应 24

2.4 弯液面的毛细作用 25

参考文献 28

3 微纳尺度作用力 29

3.1 微纳尺度基本力 29

3.1.1 基本力 29

3.1.2 电磁力与物质的组成和性质 31

3.1.3 极性分子和偶极矩 32

3.1.4 分子极化与极化强度 33

3.2 分子之间的范德华力 34

3.2.1 Keeson作用势 35

3.2.2 Debye作用势 36

3.2.3 色散力作用势 36

3.2.4 Lennard-Jones势 38

3.3 表面间的范德华作用力 39

3.3.1 微观颗粒之间的范德华作用力 39

3.3.2 介质中两个微粒子的范德华作用力 42

3.4 表面间的静电力 44

3.5 微间隙表面间的液桥力作用 46

3.5.1 光滑表面之间的液桥力 46

3.5.2 粗糙表面之间的液桥力 48

3.5.3 表面间液桥力的实验研究 51

3.6 微纳尺度作用力的测量 54

3.6.1 表面力仪 56

3.6.2 扫描隧道显微镜 56

3.6.3 原子力显微镜 58

3.6.4 原子力显微镜中的力曲线 59

参考文献 61

4 MEMS微构件的变形与振动 62

4.1 典型微构件的变形 62

4.1.1 微梁构件的弯曲变形 62

4.1.2 薄板构件的弯曲变形 65

4.1.3 典型微构件的扭转变形 67

4.2 典型微构件的单自由度振动 68

4.2.1 振动方程的建立 68

4.2.2 无阻尼和有阻尼自由振动 68

4.2.3 无阻尼与有阻尼受迫振动 71

4.2.4 加速度计的设计原理 73

4.2.5 谐振式传感器 77

4.3 典型微构件的多自由度振动 78

4.3.1 两自由度振动 78

4.3.2 连续膜的振动 80

4.4 微器件的挤压膜阻尼 81

4.4.1 挤压膜阻尼的基本方程与求解 81

4.4.2 不可压缩气体的阻尼力系数 84

4.4.3 可压缩气体介质的阻尼力系数 85

4.4.4 挤压膜阻尼作用下的振动响应 86

参考文献 87

5 微机械运动表面的接触、黏着与润滑 88

5.1 典型微机械运动表面的摩擦学问题 88

5.2 MEMS表界面的接触与黏着 90

5.2.1 表层结构与表面性质 90

5.2.2 表界面接触与弹性接触力学 91

5.2.3 表界面黏着机理与黏着接触力学 95

5.2.4 微构件的黏附失效 100

5.3 微尺度运动界面的摩擦与黏滑 101

5.3.1 Bowden-Tabor的简单黏着理论 102

5.3.2 摩擦二项式定理 102

5.3.3 微尺度运动表面间的黏滑 103

5.4 微尺度的润滑与边界滑移 106

5.4.1 微尺度润滑 106

5.4.2 边界滑移下的流体润滑 112

5.5 微构件表面的修饰改性与观测 117

5.5.1 表面修饰与改性技术 117

5.5.2 微构件表面观测技术 121

参考文献 123

6 微尺度流动 124

6.1 微尺度下的流体特性 124

6.1.1 流体的性质与特征时间 124

6.1.2 微尺度下受限液体与边界层特性 125

6.2 微尺度流动的无量纲数 128

6.2.1 Knudsen数 128

6.2.2 雷诺数 129

6.2.3 扩散系数 129

6.2.4 混合数 130

6.2.5 毛细数 132

6.2.6 表面张力梯度与Marangoni数 133

6.3 微流体的压力驱动 134

6.3.1 泊肃叶流和流阻 134

6.3.2 固-液边界滑移下的流阻 135

6.3.3 微管道中气泡造成的流阻 136

6.4 电渗和电泳——双电层原理 137

6.4.1 双电层的原理及模型——Stern模型 137

6.4.2 电渗与电泳 142

6.5 微液滴的驱动与操纵 145

6.5.1 微液滴的热驱动 145

6.5.2 电浸润 146

参考文献 148

附录A 实验内容与安排 150

实验A.1 验证拉普拉斯（Laplace）压力方程的气球实验 150

实验A.2 表面张力测定实验 151

实验A.3 MEMS分析软件的应用 152

实验A.4 原子力显微镜（AFM）测试微观形貌 153

附录B 试卷样题 155

后记 158