硅NPNG平面型高频小功率晶体管硅NPN处延平面型高速开关小功率晶体管·制造工艺pdf电子书版本下载

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目录 1

第一部分 工艺流程及其示意图 1

3 DG6硅NP？平面型高频小功率晶体管工艺流程方框图 1

3 DKa，3 DK3硅NPN外延平面型高速开关小功率晶体管工艺流程方框图 2

3DK5,3DK6超小型硅NPN外延平面型高速开关小功率 3

晶体管工艺流程方框图 3

硅NPN外延平面型高速开关小功率晶体管制造工序示意图 4

第二部分 3DG6,3 DK2,3 DK3,3 DK5,3 DK6的管芯制造 5

一次氧化 5

光刻 7

基区硼扩散、二次氧化 11

附（1）氧化层厚度的测量 15

附（2）扩散结深度的测量 17

附（3）表面电阻（ps）的测量 18

硅片减薄 19

金扩散 19

磷扩散及三次氧化 20

真空蒸发 23

划片 27

初测 29

第三部分 3DG6,3DK2,3DK3的装配及封装（金属壳封装） 30

烧结 30

附：银浆配制 32

热压 32

涂料 34

点焊支架 35

点焊硅？丝 37

套帽 37

封口 38

老化 40

喷漆 41

打印包装 42

总测 43

附：测试技术规范表 44

第四部分　3DK5，3DK6的装配及封装（环氧树脂超小型封装） 49

烧结 49

热压 50

环氧树脂密封成型 52

老化 55

总测 57

附：测试技术规范表 58

第五部分 原材料、硅片、器皿及工具的清洁处理 60

第六部分 主要设备、工装模具、材料、石英、玻璃器皿等一览表 65

3 DG6，3DK2,3DK3硅平面管生产所用主要设备 65

3DK5，3DK6硅平面外延三极管生产所用主要设备 66

3DG6,3DK2,3 DK3生产用主要工具、仪器 67

3DG6，3DG2，3DK3,3DK5,3DK6硅平面三极管生产使用石英玻璃器皿 68

3DK3,3 DK3，3DG6生产使用主要材料 69

3DK5,3DK6生产使用主要材料 71