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目 录 1

微电子工业污染控制技术的进展 1

洁净室悬浮粒子浓度的测定方法和洁净室空气洁净度的评价方法 8

——日本工业标准 B9920 8

洁净室的升级改造 41

优秀洁净室设计实践的若干问题 46

采用人工进入微环境的方法提高100级洁净厂房的级别 51

制定受控环境中生物污染的监测和行动计划 55

高性能、低能耗的洁净室设计——一个实例的研究 59

晶片传输与洁净室气流控制 66

制药和生物工程洁净室预算编制 89

推动洁净室市场的制药工业 96

洁净室建筑部件示准及惯例 98

温超纯水制造装置和清洗排水回收实例 104

关于洁净室产生钠离子的见解 109

应用隔离技术进行亚微米设施设计和运行 116

采用高精度优化空气过滤器滤芯降低能源费用 122

评价洁净工作服方法的综述 131

洁净室自动化系统 138

在100级生产设施中采用SMIF以减少缺陷密度 144

晶片表面有机磷污染与高效过滤器安装的关系 149

提高产品成品率的超净技术 152

利用UV／光电子法的带电·捕集进行密闭空间的超净化 157

探索零缺陷与零发尘目标的共同点 163

日水工业规格—生物学用Ⅱ级安全柜 166

洁净室用洁净服的新发展 190

洁净室和洁净空气控制空间分级及环境洁净度有关性能要求 197

污染最优控制的洁净室设计 207

日本工业标准—关于制定洁净室空气过滤器性能试验方法草案的说明 213

能效设计的实际结果 231

欧洲制药的洁净标准与建议做法 237

建筑和防火法规对洁净室设计和安全性的影响 244

日水工业标准—空气浮游菌测量仪的捕集性能试验方法 252

利用X射线感应粒子放射法（PIXE法）评价洁净室环境 263

洁净室的测试与认证：关于应用标准与推荐导则的状况报告 274

防止高效过滤器硼污染的措施 277

世界先进生产水平的微环境系统 284

采用完善的洁净室维护管理保护高技术投资 290

在已有设施中建造新的洁净生产区 295

ASIC生产设施中对污染控制的实践 300

洁净室气溶胶物理特性的基本概念 305

传统洁净室与微环境洁净室粒子污染比较 311

美国航空航天局（NASA）大型洁净室的设计 318

洁净室系统初效过滤器的过滤特性 325

洁净室防静电措施指南 332