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半导体光刻设备及材料展望pdf电子书版本下载
- 上海市仪表电讯工业局科技情报研究所 著
- 出版社:
- ISBN:
- 出版时间:1984
- 标注页数:113页
- 文件大小:4MB
- 文件页数:120页
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半导体光刻设备及材料展望PDF格式电子书版下载
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图书目录
目录 1
第一章 概观 1
第二章 半导体器件工业展望 3
电子设备展望 3
美国 4
欧洲 5
日本 5
世界其他国家 6
半导体器件生产展望 6
半导体器件的消耗量 6
消耗量与产量之比较 11
半导体器件的生产 12
第三章 硅片消耗 30
序言 30
硅片的消耗量 30
砷化镓片子的消耗量 33
硅片的消耗因素 33
硅片面积的消耗量 38
硅片的消耗片数 38
第四章 光刻技术的发展趋势 46
集成度—动力 46
最小线宽的缩小 49
光刻技术 51
中间掩模版/掩模版制版技术的发展趋势 51
硅片光刻技术的发展趋势 53
第五章 硅片曝光设备市场 56
光学式曝光设备 56
硅片的通过量 56
光刻机的生产率 60
光刻设备市场 61
主要的设备供应厂商 66
先进的硅片曝光设备 67
电子束直刻式光刻机市场 67
X射线光刻机的前景 67
其他光刻技术 67
第六章 中间掩模版/掩模版制版设备市场 68
市场综述 68
中间掩模版/掩模版制版设备 69
中间掩模版/掩模母版的需求量 70
检版设备市场 71
中间掩模版的自动检版 72
第七章 光刻材料市场 73
光刻胶及其有关的化学剂 73
概述 73
半导体器件生产用的光刻胶 73
光刻胶市场 78
掩模版和中间掩模版用的感光版 80
感光版市场 80
供应厂商 82
第八章 中间掩模版/掩模版制版销售服务 83
附录 84
美国电子产品生产的统计信息源介绍 85
按生产公司的地理位置和产品种类划分 87
世界半导体器件的销售额 87
世界半导体器件的销售情况——世界总计 94
世界半导体器件的销售情况——美国公司 97
世界半导体器件的销售情况——欧洲公司 100
世界半导体器件的销售情况——日本公司 103
世界半导体器件的销售情况——世界其他国家公司 106
按公司总部所在地区划分世界硅片消耗量 109