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第一章 绪论 1

1.1传感器和现代科技 1

1.2传感器的定义和分类 3

1.3传感器的构成 5

1.4传感器技术的发展趋势和方向 11

第二章 传感器特性与评价 14

2.1传感器的总特性 14

2.2传感器的静态特性 16

2.3传感器的动态特性 19

2.4传感器的误差和信噪比 26

2.5传感器的可靠性 28

2.6传感器的选择标准 33

第三章 现代传感器支撑技术 35

3.1光刻技术 35

3.2刻蚀 41

3.3半导体掺杂 46

3.4薄膜技术 54

3.5厚膜技术 70

3.6微电子焊接和封装技术 85

3.7功能材料 96

第四章 传感器的基本物理原理、效应和物理传感器元件 108

4.1概述 108

4.2光电效应和光电元件 113

4.3压电效应及压电材料 140

4.4压阻效应和压阻器件 167

4.5电磁效应和元件 181

4.6基本电参量，电阻，电容，电感传感原理 202

4.7弹性效应和弹性元件 218

第五章 新传感原理 239

5.1光纤传感器 239

5.2声表面传感原理 264

第六章 化学传感器 282

6.1气敏传感器 282

6.2电化学传感器 302

6.3固体电解质气体传感器 331

6.4湿敏传感器 350

第七章 生物传感器 360

7.1生物体的分子识别能力和生物传感器分类 360

7.2固定化技术 363

7.3酶电极 367

7.4微生物传感器 370

7.5组织传感器 374

7.6免疫传感器 378

7.7利用生物反应光、热的传感器 383

第八章 传感器的集成化和智能化 388

8.1智能化仪器系统 388

8.2智能化仪器典型功能 390

8.3传感器智能化的新进展 407

8.4集成微系统 415

第九章 传感器系统及应用 418

9.1传感器系统的构成 418

9.2传感器在家用电器中的应用 420

9.3传感器在过程工业控制中的应用 422

9.4传感器在机器人的方面的应用 423

9.5传感器在汽车电子学中的应用 426

9.6传感器在医学中的应用 429

9.7传感器在其它方面的应用 430