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第1章 绪论 1

1.1 微机电系统简介 1

1.2 微机电系统设计工具及设计方法简介 2

1.3 结构化MEMS设计方法及面临的挑战 3

1.4 泛结构化MEMS集成设计方法的提出 5

1.5 小结 5

参考文献 5

第2章 泛结构化MEMS集成设计方法的理论体系 7

2.1 引言 7

2.2 集成设计体系 7

2.3 分层设计体系 9

2.4 柔性设计体系 12

2.5 创成设计体系 13

2.6 三维设计体系 14

2.7 小结 15

参考文献 15

第3章 分层设计体系及实现技术 16

3.1 引言 16

3.2 系统级设计 16

3.3 器件级设计 37

3.4 工艺级设计 49

3.5 小结 64

参考文献 64

第4章 柔性设计体系及实现技术 66

4.1 引言 66

4.2 系统级网表到工艺级二维版图的转换方法 66

4.3 系统级网表到器件级三维实体的转换方法 71

4.4 器件级三维实体到工艺级二维版图的转换方法 72

4.5 器件级到系统级的宏建模转换方法 81

4.6 工艺级二维版图到器件级三维实体的转换方法 81

4.7 工艺级二维版图到系统级模型的转换方法 84

4.8 小结 88

第5章 创成设计体系及实现技术 89

5.1 引言 89

5.2 系统级创成式设计 89

5.3 器件级创成式设计 110

5.4 工艺级创成式设计 112

5.5 小结 113

参考文献 113

第6章 宏建模方法及应用 114

6.1 引言 114

6.2 模型降阶的数学描述 114

6.3 线性MEMS系统宏建模方法 116

6.4 几何非线性MEMS系统宏建模方法 128

6.5 多域耦合MEMS宏建模方法 133

6.6 参数化模型降阶方法 140

6.7 宏建模方法的应用 147

6.8 小结 179

参考文献 179

第7章 三维设计体系及实现技术 183

7.1 引言 183

7.2 系统级的三维设计 183

7.3 器件级的三维设计 184

7.4 工艺级的三维设计 185

7.5 小结 187

参考文献 187

第8章 集成设计体系及实现技术 188

8.1 引言 188

8.2 集成设计工具的架构 188

8.3 集成设计环境的实现 190

8.4 小结 194

第9章 设计工具应用及器件设计实例 195

9.1 引言 195

9.2 平面解耦式z轴陀螺 195

9.3 音叉电容式微机械陀螺 200

9.4 平面单轴加速度计 205

9.5 z轴加速度计 209

9.6 微型压力传感器 215

9.7 小结 218