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第一章 类金刚石膜概述 1

1.1 类金刚石膜的制备方法 2

1.2 类金刚石膜的性能 16

1.3 类金刚石膜的应用 19

参考文献 22

第二章 场发射研究进展 26

2.1 场发射的理论 26

2.2 场发射平板显示阴极材料的发展状况 34

2.3 冷阴极场发射显示器件的研究进展 39

参考文献 41

第三章 激光溅射制膜技术研究进展 45

3.1 PLD基本原理及物理过程 45

3.2 PLD技术制备薄膜材料的优、缺点 47

3.3 PLD技术在功能薄膜研究中的应用 48

参考文献 56

第四章 激光溅射制备类金刚石膜生长理论与实验设备 58

4.1 激光溅射制备类金刚石膜生长理论及文献综述 58

4.2 激光溅射制备类金刚石膜实验设备及工艺 64

4.3 类金刚石膜性能测试手段 67

参考文献 74

第五章 高功率高重复频率脉冲准分子激光制备类金刚石膜研究 78

5.1 实验参数对DLC膜制备的影响 78

5.2 最佳工艺条件下沉积的类金刚石膜的性能 94

5.3 本章小结 97

参考文献 98

第六章 类金刚石膜冷阴极场发射特性研究 100

6.1 类金刚石膜场发射性能 101

6.2 氢对类金刚石膜场发射性能的影响 106

6.3 氮掺杂对类金刚石膜的结构、性能及场发射性能的影响 115

6.4 本章小结 125

参考文献 125

第七章 类金刚石膜冷阴极场发射平板显示器件设计与制作 127

7.1 简单二极管结构FED器件 128

7.2 矩阵选址二极管结构 133

7.3 本章小结 139

参考文献 139

第八章 总结与展望 140