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1 微机电系统概述 1

1.1 微机电系统技术的基本概念及特点 1

1.2 微机电系统的研究领域 3

1.3 微机电系统采用的材料 5

1.4 主要工艺技术 6

1.5 微机电系统技术的发展 6

1.6 微机电系统的应用前景 8

参考文献 10

2 微机电系统的材料 11

2.1 概述 11

2.2 硅 12

2.3 陶瓷 15

2.4 金属 17

2.5 凝胶 20

2.6 电流变体（Electro-rheological fluids,ERF） 22

2.7 磁流变体（Magneto-rheologicalfluids,MRF） 23

参考文献 25

3 硅集成电路工艺基础 26

3.1 薄膜生长 26

3.2 光刻 42

3.3 薄膜刻蚀 52

参考文献 59

4 MEMS加工技术 61

4.1 硅的湿法腐蚀 62

4.2 硅的深刻蚀技术 68

4.3 键合与双面光刻技术 71

4.4 集成工艺 75

4.5 其他工艺技术 81

参考文献 86

5 微机电系统的设计方法学 88

5.1 MEMS设计概述 88

5.2 MEMS系统级设计 91

5.3 MEMS器件级设计 95

5.4 MEMS工艺设计 106

5.5 版图设计 113

5.6 IMEE系统及其设计实例 116

参考文献 130

6 微机电系统的组成 132

6.1 微机械传感器 132

6.2 微驱动器 157

6.3 微能源 174

参考文献 183

7 微机电系统检测技术 186

7.1 概述 186

7.2 微几何量测量 187

7.3 微机械材料特性检测 198

参考文献 220

8 微机电系统的应用 222

8.1 微机电系统在医学中的应用 222

8.2 微机电系统在汽车中的应用 232

8.3 微机电系统在信息技术中的应用 236

8.4 微机电系统在军事领域中的应用 247

参考文献 266