半导体科学与技术pdf电子书版本下载

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1 半导体物理 13

1.1 国外发展现状与趋势 13

1.2 国内现状 19

1.3 发展战略和优先支持的课题 20

2 半导体材料 23

2.1 体材料 23

2.2 薄层、超薄层材料 34

3 硅集成电路 51

3.1 国外发展情况 52

3.2 国内发展情况 58

3.3 发展趋势与目标 60

3.4 发展建议 64

4 化合物半导体微电子器件及集成电路 69

4.1 国外发展现状与趋势 69

4.2 国内发展现状与趋势 82

4.3 战略重点与优先资助的课题 84

4.4 政策与建议 85

5.1 国外发展现状与趋势 86

5 半导体光电子器件 86

5.2 国内发展现状 93

5.3 发展战略和应优先资助的课题 94

5.4 发展政策和战略措施 95

6 新型电力电子器件与灵巧功率集成电路 98

6.1 国内外发展现状与趋势 101

6.2 战略目标及优先资助的前沿课题 106

6.3 战略措施 108

7.1 半导体传感器 110

7 半导体传感器和微电子机械系统 110

7.2 微电子机械系统和微型传感器 118

7.3 发展趋势 120

7.4 战略目标及优先资助的前沿课题 121

8 非晶态半导体与器件 124

8.1 国内外研究现状与发展趋势 124

8.2 主要研究课题的方向与目标 129

9 战略目标与措施 137

9.1 战略地位 137

9.2 目标与措施 140

参考文献 144