SEMI标准年鉴 1990 第2卷 B分册 设备自动化 软件部分pdf电子书版本下载

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设备通信规范 1

报文转移（SECS-1） 1

设备通信规范 2

中文版前言 7

前言 11

出版物订购单 15

SEMI通信 17

组织机构图解 20

委员会介绍 23

报文内容（SECS-Ⅱ） 27

国际标准委员会 27

地区标准委员会 28

地区委员会一览表 31

SEMI E4— 87

SEMI E13— 90

A5．基本SECS设备实现建议 90

A4．工艺程序 90

0．引言 90

A3．SECS-Ⅱ数据传送要点 90

A2．一些推荐的报文应用 90

A1．通用要点交易协议 90

应用要点 90

9．计量单位 90

8．报文文件 90

1．范围与应用方面 90

2．参考文献 90

3．定义 90

4．缩语 90

5．规则 90

6．OSI环境下的SMS 90

7．虚拟半导体设备 90

8．环境与通用管理业务 90

9．SECS-Ⅱ转送业务 90

10．错误 90

11．符合性 90

SEMI E13— 90

2．选择的定义 90

应用事项 90

1．引言 90

2．选择的定义 90

3．耦合 90

4．字符结构 90

5．字区转移协议 90

6．标头结构 90

7．报文协议 90

8．参数设定 90

9．文件编制 90

附件 90

X1．与SECS-Ⅰ1980版的区别 90

7．报文细节 90

A1．SECS-Ⅰ的其他注释 90

A2．隔离 90

A3．字区转移协议实例 90

A4．字区转移协议中缓冲器的使用A5．系统字节A6．在一个网络中使用SECSA7．通用节点交易协议SEMI E5— 90

1．引言 90

3．报文传送协议 90

4．流与功能 90

5．交易与对话协议 90

6．数据结构 90

业务 160

报文业务（SMS）第1部分，SMS 160

SEMI设备通信规范 160

SEMI设备通信规范 190

报文业务（SMS）第2部分，SMS协议 190