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第1章 微机电系统概论 1

1.1 微机电系统的重大意义及历史回顾 1

1.2 微机电系统的主要技术 4

1.3 微机电系统的主要材料 7

1.4 智能系统集成 8

参考文献 9

第2章 微机电系统的微加工技术 10

2.1 集成电路工艺 10

2.2 微机电系统的硅微机械加工 14

2.3 体硅腐蚀的目停止技术 26

参考文献 29

第3章 微机电系统表面微加工技术 31

3.1 表面微机械加工的基本概念 31

3.2 多晶硅的表面微机械加工 33

3.3 多晶硅机械特性 43

3.4 表面微机械加工技术及应用 49

参考文献 53

第4章 高深宽比微加工技术 57

4.1 LIGA技术标准工艺 58

4.2 LIGA技术的几种变化 65

4.3 LIGA技术应用举例 66

4.4 DEM技术 68

参考文献 71

第5章 微传感器与微执行器 74

5.1 微传感器 75

5.2 物理微传感器 77

5.3 化学传感器和生物传感器 89

5.4 微执行器 97

参考文献 107

第６章 键合技术 111

6.1 阳极键合技术 111

6.2 硅/硅基片直接键合(硅的熔融键合) 117

6.3 其他硅-硅间接键合工艺 125

参考文献 127

第7章 微机电系统的相关电路及应用实例 130

7.1 微机电系统相关电路 130

7.2 微光机电系统应用实例 144

参考文献 155