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目录 1

第一章 绪论 1

§1-1 探针技术概述 1

1 发展简史 1

2 发展方向 4

§1-2 探针技术的特点 5

1 接触式测量与非接触式测量 5

2 常用的接触式测量方法 7

§1-3 探针技术的分类 9

§1-4 探针技术的发展和应用 11

1 探针法用于等离子体诊断的发展概况 11

2 探针法用于燃烧测量的发展概况 13

3 传热中的探针法测量的发展概况 15

参考文献 15

第二章 等离子体诊断用探针技术 19

§2-1 概述 19

§2-2 探针理论基础 20

1 电探针的理论基础——电离气体动力论 21

2 磁探针的理论基础——电磁感应原理和霍尔（Hall）效应 30

§2-3 电探针 33

1 引言 33

2 单探针 33

3 双探针 42

4 三探针 49

5 复杂等离子体条件下的探针 54

6 电探针的实验技术 61

7 电探针和等离子体的相互作用 77

§2-4 磁探针 85

1 引言 85

3 感应探针 90

4 磁场电效应探针 91

5 用于高频等离子体诊断的磁探针 92

2 磁探针的基本特性 96

6 用于相位测量的双磁探针 97

7 磁探针和等离子体的相互作用 100

1干扰的来源 101

§2-5 抗干扰措施 101

2克服干扰的措施 102

§2-6 电探针的应用 106

1 概述 106

2 在溅射镀膜工艺中的应用 115

3 在等离子体刻蚀中的应用 144

参考文献 148

§3-1 概述 153

第三章 燃烧测量用探针技术 153

§3-2 层流燃烧测量的探针技术 155

1 引言 155

2 用于火焰测量的速度探针 156

3 浓度探针 172

4 温度探针 184

5 火焰中电探针的应用 195

§3-3 湍流燃烧测量用的探针技术 197

1 引言 197

2 探针的干扰 199

3 探针的采样 200

4 湍流量的测量 205

参考文献 205

第四章 传热测量用探针技术 207

§4-1 概述 207

§4-2 量热探针技术 208

§4-3 带有冷却装置的电探针 218

§4-4 热流探针 231

§4-5 动态压力探针 233

§4-6 间歇温度探针 234

§4-7 辐射探针 238

参考文献 240

第五章 特殊探针和新型探针 242

§5-1 概述 242

§5-2 发射探针 243

§5-3 等离子体聚合用探针 248

§5-4 无扫描探针 252

§5-5 共振探针 255

参考文献 256