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绪论 11

第一章 真空技术的物理基础(一)--气体分子运动论 11

1-1 气体分子运动论的基本原理 11

1-2 气体的压强 20

1-3 气体分子的速率分布--麦克斯韦速率分布律 24

1-4 平均自由程与碰撞截面 28

1-5 自由程长度分布律 38

1-6 电子在电极间的碰撞次数分布律 42

1-7 电子碰撞气体引起的电离 48

1-8 单位时间碰壁数(碰撞频度) 50

1-9 分子从表面的反射--余弦定律(克努曾定律) 52

1-10 气体中的输运现象 54

1-11 低压气体中的输运现象 70

1-12 热流逸现象 78

1-13 分子辐射计力 83

1-14 气体在管道中的流动 85

1-15 气体通过小孔的流动 92

1-16 流导与流阻、传输几率 93

2-1 概述 101

第二章 真空技术的物理基础(二)--固-气界面现象 101

2-2 固体及其表面 103

2-3 固体表面对气体分子的作用力 105

2-4 物理呼附与化学吸附 109

2-5 吸附速率 114

2-6 脱附速率 122

2-7 吸附等温线 125

2-8 朗廖尔吸附等温线 130

2-9 多分子层吸附等温线(BET等温线) 133

2-10 其他吸附等温式 136

2-11 混合气体的吸附--冷捕集与置换 141

2-12 表面迁移 147

2-13 管道有吸附作用时的非稳定气体流 151

2-14 气体在固体中的溶解、渗透与扩散 156

2-15 电子轰击固-气界面 165

2-16 离子轰击固-气界面 180

第三章 真空获得 198

3-1 概述 198

3-2 旋转机械真空泵 202

3-3 蒸汽流扩散泵 207

3-4 低温吸附泵 219

3-5 钛升华泵 227

3-6 热阴极吸气离子泵 232

3-7 溅射离子泵 238

3-8 涡轮分子泵 251

3-9 低温泵 261

3-10 容积吸气剂泵 266

3-11 超高真空获得技术 267

3-12 抽气速率的测量 275

第四章 真空的测量 278

4-1 概述 278

4-2 U形真空计和压缩真空计 281

4-3 热传导真空计 289

4-4 热阴极电离真空计 300

4-5 超高真空热阴极电离真空计 316

4-6 自持放电型真空计 334

4-7 分压强真空计 342

4-8 其他真空计 360

4-9 电真空器件内部真空度的测量 369

4-10 相对真空计的校准 371

4-11 真空测量技术 375

第五章 真空检漏 379

5-1 概述 379

5-2 检漏基本原理 382

5-3 压力检漏法 389

5-4 真空检漏法 391

5-5 其他检漏方法 407

5-6 标准漏孔、漏气量的测定 412

5-7 探查法检漏的理论 416

第六章 真空系统 421

6-1 概述 421

6-2 真空系统的材料 432

6-3 真空系统的零件 437

6-4 真空系统的组装技术 444

6-5 典型真空系统举例 454

6-6 真空系统的计算 458