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模块1 晶体硅太阳电池工艺基础 1

1.1 晶体硅太阳电池技术现状 1

1.1.1 光伏产业链 1

1.1.2 晶体硅太阳电池产业现状 5

1.2 晶体硅太阳电池原理与性能 5

1.2.1 太阳电池的发电原理 5

1.2.2 太阳电池的种类与结构 7

1.2.3 太阳电池的性能与检测项目 9

1.3 晶体硅太阳电池生产工艺流程 12

1.3.1 常规晶体硅太阳电池生产工艺 12

1.3.2 硅材料的生产工艺 14

1.3.3 硅片的生产工艺 17

思考题 25

模块2 硅片清洗制绒 26

2.1 硅片清洗原理与技术 26

2.1.1 硅片表面清洗原理 26

2.1.2 RCA清洗技术 29

2.1.3 硅片清洗新技术 31

2.2 表面陷光原理与硅片制绒 31

2.2.1 表面陷光原理 31

2.2.2 制绒原理 32

2.3 清洗制绒工艺流程 34

2.3.1 清洗制绒工艺的作用 34

2.3.2 单晶硅清洗制绒工艺 34

2.3.3 多晶硅清洗制绒工艺 40

2.4 企业清洗制绒操作与监控 44

2.4.1 企业清洗制绒操作规范 44

2.4.2 清洗制绒生产过程监控 49

2.5 企业清洗制绒常见异常与返工作业 50

2.5.1 企业清洗制绒常见异常 50

2.5.2 企业清洗制绒返工作业 53

思考题 54

模块3 扩散制结—— 55

3.1 扩散制结原理 55

3.1.1 掺杂与p-n结的形成 55

3.1.2 扩散的基本原理 56

3.1.3 扩散的方式 57

3.2 扩散制结工艺流程 59

3.2.1 企业扩散制结工艺流程 59

3.2.2 扩散制结影响因素分析 61

3.2.3 扩散后检测 62

3.3 扩散制结操作与监控 63

3.3.1 扩散制结工艺步骤 63

3.3.2 扩散设备 63

3.3.3 扩散车间生产作业规范 66

3.3.4 不良片与返工作业 67

思考题 68

模块4 硅片后清洗刻蚀生产—— 69

4.1 刻蚀生产工艺流程 69

4.1.1 硅片刻蚀生产的目的 69

4.1.2 湿法刻蚀生产和去除PSG的原理 70

4.1.3 刻蚀生产工艺技术 71

4.2 刻蚀生产作业规范 72

4.2.1 生产作业规范 72

4.2.2 生产作业常见问题 75

4.3 刻蚀生产质量监控 77

4.3.1 刻蚀工艺质量的检测 77

4.3.2 后清洗刻蚀生产常见异常情况处理 79

4.4 刻蚀生产返工作业 83

4.4.1 刻蚀生产返工作业操作流程 83

4.4.2 RENA刻蚀设备的基本维护 84

思考题 90

模块5 硅片减反射膜的制备 91

5.1 减反射膜的制备工艺流程 91

5.1.1 减反射膜概念 91

5.1.2 薄膜生长的步骤 92

5.1.3 减反射膜的作用 92

5.1.4 基本的化学气相沉积反应的主要步骤 93

5.1.5 等离子增强化学气相沉积（PECVD）反应和工艺流程 94

5.2 PECVD生产设备及操作 96

5.2.1 PECVD沉积方法 96

5.2.2 Centrotherm公司批处理式PECVD设备结构 96

5.3 减反射膜制备生产作业 104

5.3.1 准备作业 104

5.3.2 作业流程 105

5.3.3 石墨舟清洗和预处理 110

5.3.4 岗位操作注意事项 113

5.4 PECVIO补镀与返工生产作业 113

5.4.1 返工作业 114

5.4.2 PECVD补镀作业 114

思考题 116

模块6 丝网印刷电极制备 117

6.1 电极制备工艺流程 117

6.1.1 晶体硅太阳电池电极概述 117

6.1.2 电极制备方法 118

6.2 丝网印刷工艺流程 119

6.2.1 丝网印刷工艺流程（图6-4） 119

6.2.2 典型丝网印刷设备 121

6.2.3 丝网印刷设备维护 130

6.2.4 网版及刮刀 131

6.3 企业丝网印刷生产作业与监控 133

6.3.1 丝网印刷生产作业 133

6.3.2 丝网印刷生产监控 139

6.4 丝网印刷返工生产 145

思考题 149

模块7 烧结工艺 150

7.1 烧结定义及目的 150

7.1.1 烧结的定义 150

7.1.2 烧结工艺的目的 150

7.2 烧结工艺流程 151

7.2.1 典型烧结设备 151

7.2.2 烧结工艺流程 155

7.3 烧结温度曲线测试 159

7.3.1 烧结温度曲线 159

7.3.2 烧结温度曲线的测试 161

思考题 165

模块8 晶硅太阳电池检测与包装 166

8.1 晶硅太阳电池检测 166

8.1.1 晶硅太阳电池外观检测 166

8.1.2 晶硅太阳电池电学性能的测试 169

8.1.3 156多晶硅电池片产品规范 170

8.2 晶硅太阳电池测试分选 173

8.3 晶硅太阳电池包装入库 186

8.3.1 包装入库流程 186

8.3.2 返工作业流程 189

思考题 190

模块9 高效晶硅太阳电池 191

9.1 晶硅太阳电池转换效率的发展 191

9.2 PERC高效晶硅太阳电池技术 195

思考题 197

参考文献 198