引信用MEMS开关设计方法pdf电子书版本下载

点此进入-本书在线PDF格式电子书下载【推荐-云解压-方便快捷】直接下载PDF格式图书。移动端-PC端通用
种子下载[BT下载速度快] 温馨提示：（请使用BT下载软件FDM进行下载）软件下载地址页 直链下载[便捷但速度慢]   [在线试读本书]   [在线获取解压码]

引信用MEMS开关设计方法PDF格式电子书版下载

下载的文件为RAR压缩包。需要使用解压软件进行解压得到PDF格式图书。

建议使用BT下载工具Free Download Manager进行下载,简称FDM(免费,没有广告,支持多平台）。本站资源全部打包为BT种子。所以需要使用专业的BT下载软件进行下载。如 BitComet qBittorrent uTorrent等BT下载工具。迅雷目前由于本站不是热门资源。不推荐使用！后期资源热门了。安装了迅雷也可以迅雷进行下载！

（文件页数 要大于 标注页数，上中下等多册电子书除外）

注意：本站所有压缩包均有解压码： 点击下载压缩包解压工具

第1章 绪论 1

1.1MEMS技术的概述 2

1.1.1MEMS的概念和特点 2

1.1.2MEMS技术的发展 4

1.2MEMS技术在军事中的应用 8

第2章 MEMS开关分类 11

2.1加速度计开关 11

2.2RF MEMS开关 13

2.3机电耦合开关 16

2.4MEMS惯性开关 17

2.5引信用MEMS开关的特点 22

2.5.1目前引信用开关存在的问题 23

2.5.2引信特殊环境对MEMS惯性开关性能需求 24

第3章 开关多物理场 26

3.1结构场 26

3.1.1变截面积悬臂梁的刚度计算 26

3.1.2S形折叠悬臂梁刚度计算 29

3.1.3S形折叠悬臂梁刚度的有限元仿真 36

3.2静电场 38

3.2.1静电驱动原理 38

3.2.2静电吸合效应 39

3.2.3负弹簧效应的影响 41

3.3静电-结构耦合特性分析 42

3.3.1等效刚度法静电-结构耦合分析 42

3.3.2模态叠加法静电-结构耦合分析 43

3.3.3有限元反馈法静电-结构耦合分析 44

3.4阻尼场 49

3.4.1滑膜阻尼 50

3.4.2压膜阻尼 51

3.4.3悬臂梁的流-固耦合的压膜阻尼模型 53

第4章 影响引信MEMS惯性开关性能的主要因素 62

4.1开关的响应时间 62

4.2开关的闭合可靠性 64

4.3开关的接触电阻 67

4.3.1接触形式的影响 67

4.3.2接触材质的影响 68

4.3.3接触电阻的计算 69

第5章 典型开关的设计与分析 72

5.1阈值可调的悬臂梁开关的设计与分析 72

5.1.1模型的建立 73

5.1.2开关基本工作原理 74

5.1.3开关工作性能仿真 77

5.1.4抗过载性能仿真 91

5.1.5尺寸参数对开关性能的影响分析 91

5.1.6加工误差仿真分析 96

5.2环形无源万向惯性开关的设计与分析 98

5.2.1开关基本工作原理 99

5.2.2开关工作性能仿真 101

5.2.3抗过载性能仿真 109

5.2.4开关工艺流程 110

5.2.5开关封装工艺 114

5.3低g值惯性开关的设计与分析 115

5.3.1模型的建立 115

5.3.2开关工作性能的仿真 116

5.3.3低g值开关的模态仿真 118

第6章 典型开关测试技术 121

6.1MEMS器件测试的基本原理与方法 121

6.2开关静态实验测试 122

6.2.1尺寸检测 122

6.2.2接触电阻检测 125

6.3开关冲击实验测试 125

6.3.1开关阈值测试 125

6.3.2开关抗高过载性能测试 126

参考文献 129