金属有机化合物气相外延基础及应用pdf电子书版本下载

点此进入-本书在线PDF格式电子书下载【推荐-云解压-方便快捷】直接下载PDF格式图书。移动端-PC端通用
种子下载[BT下载速度快] 温馨提示：（请使用BT下载软件FDM进行下载）软件下载地址页 直链下载[便捷但速度慢]   [在线试读本书]   [在线获取解压码]

金属有机化合物气相外延基础及应用PDF格式电子书版下载

下载的文件为RAR压缩包。需要使用解压软件进行解压得到PDF格式图书。

建议使用BT下载工具Free Download Manager进行下载,简称FDM(免费,没有广告,支持多平台）。本站资源全部打包为BT种子。所以需要使用专业的BT下载软件进行下载。如 BitComet qBittorrent uTorrent等BT下载工具。迅雷目前由于本站不是热门资源。不推荐使用！后期资源热门了。安装了迅雷也可以迅雷进行下载！

（文件页数 要大于 标注页数，上中下等多册电子书除外）

注意：本站所有压缩包均有解压码： 点击下载压缩包解压工具

前言 1

第1章 绪论 1

1.1 外延生长 1

1.2 MOVPE概述 5

参考文献 8

第2章 MOVPE生长系统 10

2.1 MOVPE气体输运分系统 11

2.2 MOVPE生长反应室分系统 15

2.3 MOVPE尾气处理分系统 26

2.4 MOVPE生长控制装置分系统 27

2.5 MOVPE外延层生长的原位监测 28

参考文献 34

第3章 原材料 37

3.1 金属有机化合物源 37

3.2 氢化物源 50

参考文献 56

第4章 MOVPE的热力学分析 59

4.1 外延生长速度的限制机构 59

4.2 MOVPE生长的固溶体固相成分与气相成分关系 60

4.3 MOVPE生长相图与单凝聚相生长区 75

4.4 掺杂 82

参考文献 83

第5章 MOVPE化学反应动力学和质量输运 86

5.1 MOVPE化学反应动力学 86

5.2 MOVPE反应室内的输运现象与模型化 96

5.3 MOVPE化学反应-输运模型的应用 106

参考文献 119

第6章 MOVPE的表面过程 123

6.1 表面成核 123

6.2 外延生长模式 125

6.3 MOVPE环境下的表面再构 133

6.4 表面活性剂 143

参考文献 145

第7章 Ⅲ-V族半导体材料的MOVPE生长 148

7.1 GaAs及其固溶体的MOVPE生长 148

7.2 InP、GaP及其有关化合物的MOVPE生长 170

7.3 锑化物的MOVPE生长 184

7.4 氮化物的MOVPE生长 192

7.5 选择外延生长和非平面衬底上的外延生长 225

7.6 Si、Ge上Ⅲ-V族半导体的MOVPE生长 232

参考文献 236

第8章 Ⅱ-VI族半导体材料的MOVPE生长 248

8.1 ZnSe及其有关化合物的MOVPE生长 249

8.2 ZnO及其固溶体的MOVPE生长 255

8.3 HgCdTe的MOVPE生长 261

参考文献 266

第9章 低维半导体材料的MOVPE生长 270

9.1 量子阱结构的MOVPE生长 271

9.2 量子点和量子线结构的生长 283

参考文献 292

第10章 MOVPE技术在半导体器件方面的应用 295

10.1 发光二极管 295

10.2 激光器 306

10.3 太阳能电池 324

10.4 半导体光探测器 333

10.5 高电子迁移率场效应晶体管 338

10.6 异质结双极晶体管 345

10.7 光电集成电路 350

参考文献 354

后记 360