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目 录 1

第1章基本概念 1

1.1电子射线的波长和分辨率 1

光学显微镜的分辨率 1

电子显微镜的分辨率 2

1.2电磁式电子透镜 4

电磁式电子透镜原理 4

实用电子透镜的构造 5

1.3几何光学图的描述方法 8

透镜的几何光学图的基础 8

电镜几何光学图的变化 9

1.4透镜的象差及其消除方法 13

第2章电子显微镜的构造和维护 21

2.1照明系统 21

电子枪 21

会聚透镜 23

摇摆原理 25

2.2试样室 25

对试样室要求的条件 26

实用试样室的构造 29

2.3成象系统透镜 30

物镜 31

中间镜和选区光阑 34

高分辨衍射试样室 35

2.4观察与记录 36

低衬度试样的照相技术 37

金属薄膜试样的照相技术 38

2.5真空系统 41

电镜中所必须达到的真空度 41

真空故障及其排除方法 42

2.6对中调整方法 45

电子枪的对中调整 45

会聚透镜的对中调整 48

物镜的电流中心 48

象差的校正 49

第3章通用的制样技术 50

3.1试样的支持膜 51

火棉胶支持膜 51

高倍观察用的微栅 53

3.2粉末分散法 58

撒落法 59

浆糊法 61

溶胶、凝胶分散法 62

喷雾法 65

3.3真空蒸发法 70

蒸发法 72

阴影溅射法 73

复型法 74

粉末复型法 78

萃取复型法 79

3.4金属薄膜制取法 84

切片与减薄 85

化学减薄 88

双面溅射减薄法 89

第4章电镜成象的衬度 92

4.1散射衬度 92

4.2衍射衬度 94

4.3相位衬度 100

几何光学 106

第5章选区电子衍射方法 106

5.1选区电子衍射的几何光学 106

装置的设定和操作方法 110

旋转角的校正 112

选区电子衍射法的精度 114

5.2晶体学基础（概要） 116

周期结构和衍射现象 117

面间距的计算 120

消光规律 124

晶面角 125

晶体学符号 126

单晶衍射花样的计算 129

5.3电子衍射图的计算 129

德拜－谢乐环的计算 130

5.4利用单晶衍射花样鉴定物质 133

单晶衍射花样的注释条件 133

定性分析实例 135

5.5利用电子计算机标定指数 148

程序概要 148

计算程序 151

第6章 能量色散谱仪（EDX）分析法 154

6.1能量色散谱仪信号的定量分析 155

薄膜试样的厚度和X射线强度 155

微粒试样的X射线强度 157

6.2分析精度 159

薄膜厚度的测量精度 159

微粒重量的测量精度 159

6.3利用能量色散谱仪进行定量分析的方法 160

第7章动态观察法 164

7.1多用途试样室的构造 166

7.2各种试样夹持器 167

7.3防止氧化、脱碳的措施 173

7.4动态观察实例 174

参考书目 177

附录：面指数和面间距表 178