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绪论 1

第一章 真空与真空度 3

第一节 真空的概念 3

第二节 真空度的单位 4

习题 6

第二章 真空计量基础知识 7

第一节 理想气体状态方程及气体定律 7

第二节 气体分子的热运动 9

第三节 理想气体分子运动论的一些观点 12

第四节 真空区域的划分 17

第五节 气体与蒸气 21

第六节 真空系统的一些概念和基本方程 23

第七节 真空系统中气体的流动 26

第八节 流导的计算 27

本章小结 29

习题 30

第三章 真空的获得与检漏 32

第一节 获得真空的方法和真空泵的参量 32

第二节 机械泵 34

第三节 分子泵 38

第四节 扩散泵 40

第五节 吸附泵、离子泵、低温泵、无油真空系统 43

第六节 真空材料、零件及其处理 47

第七节 真空系统的检漏 51

习题 55

本章小结 55

第四章 真空测量仪表 56

第一节 真空测量的特点和测量仪表的分类 56

第二节 弹簧管式真空表 57

第三节 热导式真空计 59

第四节 普通热阴极电离真空计 64

第五节 B--A式超高真空电离计 71

第六节 其他真空计简介 76

本章小结 78

习题 78

第五章 真空计的校准 80

第一节 U型管真空计法 80

第二节 标准压缩式真空计法 82

第三节 静态膨胀法 87

第四节 动态流导法 91

第五节 直接比较法 95

第六节 真空计线路的校准 98

本章小结 103

习题 103

第六章 实用真空测试技术 105

第一节 真空泵抽速的测定 105

第二节 标准漏孔及其漏率的测定 108

第三节 封闭电真空器件的真空度测试 110

第四节 复杂形状容器的容积测量 113

第五节 低温技术与真空、电冰箱致冷系统的检漏与充致冷剂 118

本章小结 121

参考书目 122