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第一章 透射电子显微镜和扫描电子显微镜 1

1.1 引言 1

1.2 透射电镜的结构原理 2

1.3 透射电镜的衬度原理 4

1.4 透射电镜的主要性能指标 8

1.5 透射电镜的样品制备和复型技术 10

1.6 扫描电镜的工作原理 12

1.7 扫描电镜的工作模式和衬度原理 16

1.8 扫描电镜的结构部件 23

1.9 电子探针 27

第二章 声学成象和声显微镜 35

2.1 声学成象概述 35

2.2 球面声透镜及其聚焦性质 38

2.3 扫描成象的扫描式声显微镜 47

第三章 扫描隧道显微镜和原子力显微镜 50

3.1 扫描隧道显微镜原理 50

3.2 扫描隧道显微镜仪器结构 55

3.3 扫描隧道显微镜的应用举例 61

3.4 原子力显微镜 64

3.5 激光力显微镜和弹道电子发射显微镜 68

第四章 X光衍射分析 75

4.1 预备知识 75

4.2 X光衍射原理 81

4.3 X光衍射方法 87

4.4 X光衍射方法的应用 97

5.4 低能电子衍射图象与二维倒格子关系 113

5.5 吸附表面的LEED图象 118

5.6 低能电子衍射的运动学理论 121

5.7 衍射斑点的强度特性 124

5.8 不完善结构的衍射特征 127

5.9 反射式高能电子衍射 130

第六章 俄歇电子能谱 135

6.1 俄歇效应 135

6.2 俄歇电子的能量 139

6.3 影响俄歇电流的因素与计算俄歇电流的公式 141

6.4 俄歇谱及其测量方法简介 147

6.5 定性和定量分析 150

6.6 信噪比与俄歇分析的检测极限 157

6.7 扫描俄歇 157

6.8 深度剖面分析 158

6.9 化学效应与荷电效应 160

第七章 X射线光电子能谱 164

7.1 X射线光电子能谱与谱仪的简单介绍 164

7.2 电子结合能理论计算、能量定标与荷电效应简介 168

7.3 化学位移 171

7.4 伴峰和谱峰的分裂 176

7.5 定性分析与俄歇峰的利用 183

7.6 定量分析 187

第八章 二次离子质谱 189

8.1 离子与表面的相互作用 190

8.2 二次离子发射的基本规律 196

8.3 SIMS分析模式和基本关系式 209

8.4 二次离子谱仪 212

8.5 SIMS的分析方法和应用 219

8.6 二次离子质谱学的发展 228

第九章 卢瑟福背散射能谱和沟道技术 231

9.1 背散射分析原理 231

9.2 分析设备和实验技术 236

9.3 背散射分析的应用 243

9.4 沟道技术原理 253

9.5 晶体定向的方法及沟道能谱 257

9.6 沟道技术的应用 262

第十章 热波检测和热波成象技术 271

10.1 概述 271

10.2 热波的激励 279

10.3 交变温升引起的表面形变 286

10.4 测量离子注入浓度的热波探针系统 289

附录Ⅰ 能量分析器简介 296

附录Ⅱ 用脉冲计数法测量微弱电流 302

附录Ⅲ 俄歇微分谱与直接谱的测量 307