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第一章 绪论 1

1.1 引言 1

1.2 电子探针仪的功能 2

1.3 电子探针仪的构造 3

1.4 电子探针分析方法的优缺点 6

1.5 电子探针分析发展史 9

参考文献 11

第二章 电子探针仪 12

2.1 电子光学系统 12

2.2 样品室 40

2.3 光学及电子光学观察系统 43

2.4 X光谱仪 54

2.5 电子探针用充气X光探测器 85

2.6 X光强度的测量计数系统 95

2.7 仪器的其它辅助系统 98

2.8 电子光学系统的统调和合轴 102

参考文献 110

第三章 电子与靶极的交互作用 113

3.1 概述 113

3.2 入射电子的散射 114

3.3 电子在靶极中的能量损失规律 129

3.4 电子束轰击试样时的电子发射现象 141

3.5 电子束透过靶极时强度的衰减 152

3.6 入射电子的热效应和靶极的散热问题 153

3.7 阴极发光现象 157

3.8 结晶体对电子的衍射现象 158

参考文献 160

第四章 X光物理基础 163

4.1 Rutherford-Bohr 原子模型 163

4.2 特征X光的产生 168

4.3 连续谱X光的产生 204

4.4 X射线的空间分布 211

4.5 X光与物质的交互作用 214

参考文献 238

第五章 定性分析 241

5.1 定性分析方法要领 241

5.2 定性分析的实验技巧 247

参考文献 249

6.1 试样制备 250

第六章 定量分析 250

6.2 标样 253

6.3 分析操作 254

6.4 定量分析数据的预处理 257

6.5 为何要修正和两条修正途径 259

6.6 边界条件 262

6.7 电子探针定量分析计量单位的探讨 263

参考文献 264

第七章 常用的经验修正方法 265

7.1 Ziebold 和 Ogilvie 方法 265

7.2 Bence 和 Albee 法以及 Gupta 的改进 269

7.3 δ系数法和影响系数法 280

参考文献 284

第八章 ZAF 修正方法 285

8.1 原子序数修正 285

8.2 吸收修正 316

8.3 荧光修正 369

8.4 其它 414

参考文献 416

9.2 迭代的方法 421

第九章 迭代和数据复原程序的结构 421

9.1 为什么要作迭代 421

9.3 数据复原程序结构 429

参考文献 433

第十章 特种边界条件下的分析 435

10.1 不满足厚度半无限条件下的薄膜分析 435

10.2 不满足宽度无限条件下的成分分析 479

参考文献 492

11.1 键合状态的影响 495

第十一章 影响定量分析准确度的一些次要因素 495

11.2 取向效应 497

11.3 环境温度的影响 498

11.4 电子束轰击下成分的改变 499

参考文献 499

第十二章 测量的理论精度和修正计算中误差的传播 502

12.1 测量能达到的最大理论精度 502

12.2 通过修正计算引起的误差传播 507

参考文献 510