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一、绪论 1

1.1 精密测定器的课题 1

1.2 机构设计及其重要性 2

1.3 精密测定器的结构 3

二、检测装置的机构设计 7

2.1 关于检测装置设计方面的问题 7

2.2 关于杠杆式放大机构的结构及放大倍率的研究 8

2.2.1 杠杆式放大机构的结构及其样机 9

2.2.2 简单杠杆放大倍率的变化 15

2.2.3 复合杠杆放大倍率的变化 18

2.2.4 由安装误差而产生的放大倍率的变化 23

2.3 放大倍率变化小的杠杆式放大机构 26

2.3.1 中间插入测量杆的组合杠杆 27

2.3.2 互为直角方向配置的杠杆机构 31

2.4 记录图形的失真 33

2.4.1 记录图形的横向偏移 33

2.4.2 放大记录装置机构设计的实例 36

2.5.1 关于测量头的杠杆型夹持装置机构的理论研究 42

2.5 接触式检测装置的动态测定力和追随特性 42

2.5.2 关于杠杆式放大机构的理论研究 46

2.5.3 追随特性的测定 49

2.6 考虑到测定力和追随特性的新型机构的设计实例 52

2.6.1 有表面反射镜的杠杆的新机构实例 52

2.6.3 传感器的新机构实例 57

2.7 本章小结 61

三、运动部分的机构设计 63

3.1 关于运动部分机构设计的若干问题 63

3.2.1 关于以往的单一直线运动导向机构的研究 65

3.2 单一运动导向机构的设计 65

3.2.2 基本单元及其运动的约束 72

3.2.3 基本单元组合的设计方法 77

3.2.4 利用组合设计方法的单一直线运动的导向机构 80

3.3 单一旋转运动导向机构的设计 84

3.3.1 利用组合设计方法的机构 85

3.3.2 单一旋转运动的导向机构(其一)--在α方向旋转的情况 89

3.3.3 单一旋转运动的导向机构(其二)--在γ方向旋转的情况 93

3.4.1 用组合设计方法的“复合运动的导向机构”的扩大应用 96

3.4 复合运动导向机构的设计 96

3.4.2 复合运动的导向机构(其一)--在(x-y)方向运动的情况 98

3.4.3 复合运动的导向机构(其二)--在(x-γ)方向运动的情况 101

3.4.4 复合运动的导向机构(其三)--在(x-α)方向运动的情况 103

3.5 运动部分送进机构的设计 104

3.5.1 微调、粗调的一体装置 105

3.5.2 超微调装置 106

3.6 本章小结 108

四、应用本机构设计的精密测定器及其性能 110

4.1 工具显微镜 110

4.1.1 工具显微镜存在的问题 110

4.1.2 新型工具显微镜的基本设计 116

4.1.3 检测部分的机构设计及结构设计 118

4.1.4 运动部分的机构设计及结构设计 122

4.1.5 关于运动部分的支点位置的理论探讨 133

4.1.6 关于结构设计的其他问题 141

4.1.7 新型工具显微镜的特征及性能 148

4.2.1 有关形状测定器的基本设计问题 155

4.2 各种形状测定器 155

4.2.2 真直度测定法分类和真直度测定器方面的问题 157

4.2.3 记录式真直度测定器 163

4.2.4 光学真直度测定器的光轴调整装置 170

4.2.5 其它形状的测定器 172

4.2.6 关于运动部分的支点位置的理论探讨 178

4.3 触针式表面光洁度测定器 184

4.3.1 机构设计上的问题 184

4.3.2 光杠杆式表面光洁度测定器 185

4.3.3 位移型电动式表面光洁度测定器 199

4.4 接触式断面形状测定器 209

4.4.1 薄膜阶梯差测定器 210

4.4.2 轮廓测定器 222

4.4.3 正圆度测定器 228

4.5 误差的校正机构 237

4.5.1 需要校正机构的理由 237

4.5.2 各种校正机构 239

参考文献 241