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目录 1

电子光学微观分析仪器概述 郭可信 1

一、序言 1

二、电子与物质的交互作用 2

（一）散射 2

（二）各种电子信息 12

（三）衍射 18

（四）各种信息及其在电子光学微观分析仪器中的应用 23

三、电子探针及扫描电镜 25

（一）仪器简述 26

（二）空间分辨率 33

（三）波长色散谱仪 38

（四）X射线能谱分析 42

四、透射电镜 52

（一）仪器概述 52

（二）选区衍射与选择衍射成象 54

（三）能量分析电镜和能量选择电镜 63

（四）透射扫描电镜 69

五、表面探针 75

（一）低能电子衍射仪 76

（二）俄歇电子能谱仪 80

六、结束语 87

参考文献 89

扫描电子显微镜 刘永康 91

一、扫描电镜的性能特点 92

二、扫描电子显微镜的成像原理 93

三、扫描电子显微镜仪器的结构 99

四、扫描电子显微镜样品的制备 101

五、扫描电子显微镜的应用举例 102

参考文献 104

电子探针定量分析方法 崔乃俊 106

一、引言 106

二、定量分析的基本原理 107

三、定量分析的修正方法 111

四、实验条件的选择和操作中应注意的问题 133

五、结束语 140

参考文献 141

电子探针中关于X射线测量的统计误差处理问题 刘茂江李永祚 143

一、前言 143

二、X射线测量误差的定义 144

三、电子探针中关于元素定量分析的误差运算 152

四、分析实例 155

五、附录 163

参考文献 166

电子探针分析仪电气性能的测试方法和维护使用中若干问题的分析处理方法 牛存义周美安陈永祺 167

一、电子探针主要电气性能的测试方法 167

二、维护使用中若干问题分析处理方法 188

参考文献 205